2024年9月24日，由上海市科技創(chuàng)業(yè)中心組織的“2024上海高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化百佳表彰會”在上海大零號灣科創(chuàng)大廈會議中心隆重召開。此次表彰會議上，上海新陽干法蝕刻清洗液項目榮獲“2024年上海市高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化項目自主創(chuàng)新十強”的榮譽稱號。
上海新陽干法蝕刻清洗液項目于2009年立項，通過十多年自主研發(fā)，開發(fā)了針對晶圓鋁工藝和銅工藝干法刻蝕后殘余聚合物的清洗液，實現(xiàn)特定納米以上技術(shù)節(jié)點集成電路制造銅工藝和鋁工藝的全覆蓋，一舉突破國外企業(yè)的技術(shù)封鎖，填補了國內(nèi)技術(shù)空白，完成了國產(chǎn)替代，為“卡脖子”關(guān)鍵工藝材料的持續(xù)創(chuàng)新注入了“新動能”。
這份榮譽既是對上海新陽干法蝕刻清洗液項目的肯定，也是對上海新陽一直以來不斷創(chuàng)新、勇于突破精神的嘉獎。上海新陽將以此為激勵，持續(xù)開發(fā)新項目，攻克核心技術(shù)難關(guān)，為加速半導體芯片產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)替代的進程而貢獻力量！
