2017年4月27日,上海新陽迎來了一批重要的客人,當天下午上海華力微電子有限公司副廠長倪立華帶領工程部、研發(fā)部、品管部以及采購部等同仁來公司考察。這也是時隔將近兩年后,倪廠長再次帶領團隊來到新陽,這充分體現(xiàn)了倪廠長和華力對我們新陽的信心,也使得這次拜訪有著極其重要的特殊意義!
作為國內第一條全自動12英寸集成電路生產線,工藝水平達到40-28nm技術節(jié)點的芯片制造工廠,上海華力微電子近幾年新技術新產品的推進進程不斷加快,更高技術節(jié)點,更小芯片尺寸使得對制程中任何可能造成Defect的因素更加嚴苛,對于Second Source的化學品審核驗證更是如此。為了讓我們更清楚明了華力對供應商的具體要求和對未來的期望,倪廠長親自為我們做了詳細的報告說明。
本次客戶來訪重點考察了公司技術中心以及化學品生產車間和新陽硅密設備車間,并詳細詢問了解了公司硫酸銅產品的生產工藝。倪廠長對我們硫酸銅產品生產車間和技術中心整潔的環(huán)境給予了積極的評價,對未來的合作也表達了充分的信心。
隨后5月10日,基于華力客戶工程部以及TD等部門對新陽公司和技術的充分信心,我們期待已久的華力TD ECP機臺直接切換成新陽的VMS,驗證28nm工藝終于成為現(xiàn)實。硫酸銅產品在華力再次實現(xiàn)銷售,后續(xù)測試如果順利,將為我們直接成為華力二期銅電鍍液Baseline奠定堅實的基礎。