——上海新陽設(shè)立高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目
2016年12月22日，上海新陽對外公告，公司董事會審議通過《關(guān)于申報(bào)國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項(xiàng)之“高分辨率光刻膠與先進(jìn)封裝光刻膠產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目（課題）及提供配套自籌資金的議案》，同意公司預(yù)算人民幣6億元申報(bào)上述項(xiàng)目，并承諾及時(shí)到位所需自籌資金，保證項(xiàng)目順利實(shí)施。
“高分辨率光刻膠與先進(jìn)封裝光刻膠產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目（簡稱“高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目”）以開發(fā)適用于28-14nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的ArF浸沒式光刻膠和先進(jìn)封裝工藝用化學(xué)增幅I線光刻膠及配套關(guān)鍵材料為主要研究內(nèi)容，以形成規(guī)模化生產(chǎn)能力，通過用戶評估認(rèn)證，實(shí)現(xiàn)批量銷售為項(xiàng)目目標(biāo)。項(xiàng)目將聯(lián)合相關(guān)單位，采用自主研發(fā)與引進(jìn)吸收相結(jié)合的方式開展工作，將為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供多品種、廣覆蓋的高端光刻膠產(chǎn)品及重要原材料，填補(bǔ)國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)空白。
自2009年始，上海新陽先后承擔(dān)了國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項(xiàng)（簡稱“02專項(xiàng)”）高速自動電鍍線研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化課題、65-45nm芯片銅互連超高純電鍍液與添加劑研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、20-14nm工藝銅互連電鍍工藝技術(shù)及產(chǎn)品的研發(fā)，參股公司上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司承擔(dān)了02專項(xiàng)40-28nm集成電路制造用300mm硅片技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目，為國家02專項(xiàng)和集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展作出了應(yīng)有貢獻(xiàn)。
回首上海新陽核心技術(shù)研究能力，公司在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的創(chuàng)新成就如同一顆顆璀璨明珠，熠熠生輝。在半導(dǎo)體制造所需電鍍液、清洗液、研磨液、光刻膠四大配方類產(chǎn)品中公司已成功研發(fā)產(chǎn)業(yè)化兩大類，其中芯片銅互連超高純電鍍液成為中芯國際12英寸65-28nm產(chǎn)線、無錫SK海力士12英寸32nm產(chǎn)線Baseline（基準(zhǔn)），清洗液產(chǎn)品已批量供應(yīng)中芯國際產(chǎn)線。而今，上海新陽設(shè)立高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目，既是積極響應(yīng)國家的集結(jié)召喚，也是積極響應(yīng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對高端光刻膠市場的呼喚，更是我們新陽人在審慎掂量自我后作出的重大抉擇！
砥礪奮進(jìn)的新陽人啊，我們不乏氣力，也不乏資金與可控的融資平臺，更不乏半導(dǎo)體領(lǐng)域配方類化學(xué)產(chǎn)品的研發(fā)智力與成就，我們現(xiàn)在要做的僅僅是薪火相傳，溯流而上，為新陽發(fā)展提供更大的空間，為我們每個(gè)人的發(fā)展創(chuàng)造更廣闊的舞臺。
