2016年11月28日下午2:30時(shí)，在松江區(qū)區(qū)辦公中心8號(hào)樓大會(huì)堂，隆重召開了松江區(qū)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)大會(huì)。會(huì)議由松江區(qū)區(qū)長(zhǎng)秦健主持，我司孫江燕副董事長(zhǎng)與王溯總工程師受邀參加此次大會(huì)。我司的“65-45nm芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目在眾多優(yōu)秀候選項(xiàng)目中，通過(guò)層層選拔、脫穎而出，榮獲“2014-2015年度松江區(qū)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)”。同時(shí)，項(xiàng)目主要參與人：孫江燕、王溯、智文艷、黃利松、楊帆、王亮、劉金霞、于仙仙、孫紅旗、黃桂華、符春香、任發(fā)強(qiáng)、唐耀宗、張鵬利分別獲得了個(gè)人參與榮譽(yù)獎(jiǎng)勵(lì)證書。此次獎(jiǎng)勵(lì)是對(duì)我司一貫以技術(shù)為主導(dǎo)，立足于自主創(chuàng)新，各部門協(xié)作配合，集體攻堅(jiān)克難的精神與工作的巨大肯定與鼓舞，是新陽(yáng)人、新陽(yáng)精神的全面呈現(xiàn)與展示！
本次申報(bào)的項(xiàng)目是公司歷經(jīng)十年開發(fā)成功，被國(guó)家科技部“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項(xiàng)（02專項(xiàng)）支持的“65-45nm芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目。該項(xiàng)目主要研究用于集成電路銅互連工藝過(guò)程的超高純電鍍液及添加劑兩種關(guān)鍵工藝材料，并在百納米級(jí)以下的芯片內(nèi)部形成10多層的三維銅互連電路。在本項(xiàng)目實(shí)施以前，此類材料全球只有少數(shù)幾家供應(yīng)商能夠提供，我國(guó)集成電路制造企業(yè)所需材料完全依賴于進(jìn)口。在項(xiàng)目負(fù)責(zé)人孫江燕、首席專家王溯的帶領(lǐng)下，項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)攻克了產(chǎn)品金屬雜質(zhì)、總有機(jī)碳、溶液中顆粒去除等問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了快速無(wú)縫填充和底部填充（Bottom up），通過(guò)了客戶嚴(yán)苛的基礎(chǔ)工藝考核（PRS）、小批量試產(chǎn)（STR）、大批量試產(chǎn)（MSTR）、考核發(fā)布（Release）四階段考驗(yàn)。項(xiàng)目于2015年底通過(guò)02專項(xiàng)驗(yàn)收，項(xiàng)目成果超純芯片銅互連電鍍液產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)大批量生產(chǎn)，成功替代進(jìn)口同類產(chǎn)品，已成為我國(guó)最大最先進(jìn)的集成電路制造企業(yè)中芯國(guó)際12英寸65-28nm產(chǎn)線、韓國(guó)SK海力士12英寸32nm產(chǎn)線的基準(zhǔn)材料（Baseline），成功填補(bǔ)了此項(xiàng)材料的國(guó)內(nèi)空白。
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