2011年3月3日,國(guó)家科技重大專項(xiàng)《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》“十一五”成果發(fā)布暨采購(gòu)簽約儀式在北京飯店隆重舉行。全國(guó)政協(xié)副主席、國(guó)家科技部部長(zhǎng)萬(wàn)鋼出席會(huì)議并作重要講話。會(huì)議由專項(xiàng)第一行政責(zé)任人上海市副市長(zhǎng)沈曉明主持,專項(xiàng)第一行政責(zé)任人北京市副市長(zhǎng)茍仲文介紹專項(xiàng)“十一五”主要成果及“十二五”組織實(shí)施措施。出席會(huì)議的還有北京市委常委趙鳳桐、中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)江上舟、02專項(xiàng)總體專家組組長(zhǎng)葉甜春、工信部電子信息司副司長(zhǎng)丁文武及科技部、工信部、財(cái)政部、海關(guān)總署、稅務(wù)總局等部局領(lǐng)導(dǎo)。公司董事長(zhǎng)王福祥、副董事長(zhǎng)兼總工程師孫江燕、第一副總經(jīng)理呂海波應(yīng)邀參加了會(huì)議。
會(huì)上中芯國(guó)際與大唐微電子等集成電路設(shè)計(jì)企業(yè)、與中微半導(dǎo)體等集成電路裝備、材料企業(yè)簽訂采購(gòu)合作協(xié)議;長(zhǎng)電科技與上海新陽(yáng)半導(dǎo)體等集成電路裝備企業(yè)簽訂采購(gòu)合作協(xié)議;通富微電公司與銅陵三佳科技等企業(yè)簽署合作協(xié)議。上海新陽(yáng)獲得了長(zhǎng)電科技與通富微電公司的“高速自動(dòng)電鍍線”設(shè)備采購(gòu)合作協(xié)議,與中芯國(guó)際就“銅互連電鍍液”簽署了采購(gòu)合作意向書(shū)。
《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》國(guó)家科技重大專項(xiàng)是我國(guó)《國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要》16個(gè)科技重大專項(xiàng)中的02專項(xiàng),該專項(xiàng)旨在開(kāi)發(fā)極大規(guī)模集成電路關(guān)鍵制造裝備,掌握具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的成套先進(jìn)工藝及相關(guān)新材料技術(shù),打破我國(guó)高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進(jìn)口的現(xiàn)狀,帶動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)提升和結(jié)構(gòu)調(diào)整。 據(jù)統(tǒng)計(jì),“十一五”期間,國(guó)家為該專項(xiàng)投入資金超過(guò)80億元,已啟動(dòng)58項(xiàng),其中裝備整機(jī)15項(xiàng),成套工藝11項(xiàng),關(guān)鍵技術(shù)與零部件12項(xiàng),關(guān)鍵材料13項(xiàng),前瞻性研究7項(xiàng)。全國(guó)有18個(gè)省、29個(gè)市的133家單位參與。目前,“02專項(xiàng)”累計(jì)申請(qǐng)專利4200多件,獲得一系列技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化突破;在制造環(huán)節(jié),有35種裝備、材料陸續(xù)進(jìn)入或已經(jīng)通過(guò)大生產(chǎn)線驗(yàn)證;而在封裝環(huán)節(jié),23種裝備和8種材料已通過(guò)大生產(chǎn)驗(yàn)證。此次會(huì)議的召開(kāi)標(biāo)志著02科技重大專項(xiàng)取得了重要的階段性成果,項(xiàng)目承擔(dān)單位所開(kāi)發(fā)的設(shè)備與材料實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化,這對(duì)于我國(guó)實(shí)施極大規(guī)模集成電路制造關(guān)鍵設(shè)備、材料國(guó)產(chǎn)化及各個(gè)設(shè)備材料供應(yīng)商來(lái)講都具有重要的里程碑式的意義。
上海新陽(yáng)的“高速自動(dòng)電鍍線”從2009年1月份立項(xiàng),歷時(shí)兩年,在重大專項(xiàng)辦和政府相關(guān)部門(mén)的指導(dǎo)和支持下已經(jīng)順利完成,得到項(xiàng)目組和長(zhǎng)電科技、通富微電的一致認(rèn)可,目前已經(jīng)在使用單位投入大規(guī)模生產(chǎn)。在3月2日中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)年會(huì)上,該項(xiàng)目被中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)、中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)、中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)、中國(guó)電子報(bào)社評(píng)為“第五屆(2010年度)中國(guó)半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)”。此次國(guó)家牽頭組織的“成果發(fā)布暨采購(gòu)簽約儀式”對(duì)新陽(yáng)具有里程碑式的意義,專項(xiàng)的實(shí)施提升了上海新陽(yáng)科技攻關(guān)水平、綜合管理能力,增強(qiáng)了“新陽(yáng)人”的自豪感,極大地推動(dòng)了“新陽(yáng)”品牌建設(shè),擴(kuò)大了公司在國(guó)內(nèi)國(guó)外市場(chǎng)的影響力和知名度。
萬(wàn)鋼部長(zhǎng)指出:“集成電路產(chǎn)業(yè)是戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性支柱產(chǎn)業(yè),是掌握著國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展和全球信息化競(jìng)爭(zhēng)的主導(dǎo)型的關(guān)鍵產(chǎn)業(yè),是當(dāng)今信息時(shí)代國(guó)家綜合實(shí)力和國(guó)家競(jìng)爭(zhēng)力的重要標(biāo)志。培育和發(fā)展具有綜合實(shí)力和核心競(jìng)爭(zhēng)力的集成電路制造業(yè)是發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵,也是實(shí)施02科技重大專項(xiàng)最重要的使命。近年來(lái),我國(guó)集成電路每年的進(jìn)口額都超過(guò)1200億美元,比石油進(jìn)口額還要多,是我國(guó)最大宗的進(jìn)口物資?!笨梢?jiàn),我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的整體技術(shù)水平和綜合實(shí)力與國(guó)外先進(jìn)國(guó)家與地區(qū)相比還有很大差距,我們還有很大的發(fā)展空間,尤其是在高端裝備制造、工藝和材料方面的發(fā)展空間還很大。
上海新陽(yáng)作為我國(guó)集成電路設(shè)備、材料領(lǐng)域的“國(guó)家隊(duì)”成員,將努力專注于集成電路產(chǎn)業(yè)高端材料、設(shè)備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化,開(kāi)拓更廣闊的市場(chǎng),滿足客戶更多需求,新陽(yáng)的發(fā)展前途不可限量,她正如一輪紅日冉冉升起,寄托著希望,推動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展走向遠(yuǎn)方。
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